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黄传鑫1,辛纪英2,田中俊1,王猛1,吕凯凯1,梁兰菊1,刘云云1(枣庄学院光电工程学院;枣庄学院后勤服务处).氧气等离子体处理提升InZnO材料及TFT电学性能和稳定性研究[J].真空,2023,第4期
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李兴辉,杜婷,韩攀阳,陈海军,蔡军,冯进军(中国电子科技集团公司第十二研究所微波电真空器件国家级重点实验室).微型化真空泵技术[J].真空,2023,第4期
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张艳鹏,曹志强,付强,曹磊,刘旭(北京北方华创真空技术有限公司).卷绕镀铜工艺对复合集流体电学性能影响研究[J].真空,2023,第4期
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