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吴玉舟1,2,李泽宏1,禹久赢2,潘嘉3,陈冲3,任敏1(电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;上海超致半导体科技有限公司;上海华虹宏力半导体制造有限公司).浮空p柱结构的超结IGBT器件的设计[J].半导体技术,2022,第8期
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