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期刊文章列表

  • 郑环1,2,周建伟1,2,刘玉岭1,2,王辰伟1,2,张乐1,2,王仲杰1,2(河北工业大学电子信息工程学院;天津市电子材料与器件重点实验室).不同pH值下过氧化氢对Ru的CMP的影响[J].微纳电子技术,2017,第1期
  • 王仲杰1,2,王胜利1,2,王辰伟1,2,张文倩1,2,郑环1,2(河北工业大学电子信息工程学院;天津市电子材料与器件重点实验室).超精度石英玻璃的化学机械抛光[J].微纳电子技术,2017,第1期
  • 闫辰奇1,2,刘玉岭1,2,张金1,2,张文霞3,王辰伟1,2,何平4,潘国峰1,2,牛新环1,2(河北工业大学电子信息工程学院;天津市电子材料与器件重点实验室;华北理工大学;河北工业大学计算机科学与软件学院).不同粒径硅溶胶磨料对Cu CMP的综合影响[J].微纳电子技术,2017,第1期
  • 谢娟,刘柳,熊成(河北工程大学数理科学与工程学院).球形TiO2-ZnO复合纳米颗粒的合成、表征及光催化性能[J].微纳电子技术,2017,第1期
  • 韩丰磊1,张荷2,酒江波3,赵东风1,彭丽英4,李海洋4(中国石油大学(华东)化学工程学院;中国石油大学(华东)机电工程学院;青岛欧赛斯环境与安全技术有限责任公司;中国科学院大连化学物理研究所).湿度对离子迁移谱性能影响的数值模拟[J].微纳电子技术,2017,第1期
  • 黄远1,李以贵1,颜平1,王欢1,李俊衡1,杉山进2(上海应用技术大学理学院;日本立命馆大学微系统系).基于声表面波驱动器的液体单方向驱动[J].微纳电子技术,2017,第1期
  • 朱振东1,2,施玉书1,李伟1,高思田1,李适1,李琪1,张立辉2,李群庆2,范守善2(中国计量科学研究院;清华大学清华-富士康纳米科技研究中心).室温纳米压印制备中的共性关键工艺问题[J].微纳电子技术,2017,第1期
  • 付蕊1,陈诺夫1,白一鸣1,涂洁磊2,刘虎1,3,马大燕1,陶泉丽1,陈吉堃4(华北电力大学可再生能源学院;云南师范大学太阳能研究所;石家庄铁道大学数理系;北京科技大学材料科学与工程学院).GaAs基多结太阳电池TiO2/Al2O3/SiO2减反射膜的设计与制备[J].微纳电子技术,2017,第1期
  • 冉宏霞,王硕,范滔,刘瑞峰,张雨阳,高向明(重庆师范大学物理与电子工程学院).MBE制备GaN纳米柱阵列的光学特性[J].微纳电子技术,2017,第1期
  • 刘圆1,2,相文峰1,2,张家奇1,2,胡明皓1,2,赵昆1,2,钟寿仙2(中国石油大学(北京)油气光学探测技术北京市重点实验室;中国石油大学(北京)理学院).微结构对单根Ni/NiO核壳纳米线器件阻变性能的影响[J].微纳电子技术,2017,第1期
  • 赵正平(中国电子科技集团公司;专用集成电路重点实验室).微系统三维集成技术的新发展[J].微纳电子技术,2017,第1期
  • 吕晓静,朱平(中北大学仪器与电子学院).微型超级电容器的电化学阻抗谱分析[J].微纳电子技术,2017,第1期
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