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田洪涛，王嘉琪，刘志伟，吴燕林（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.缓存区工位和调度系统在CMP设备中的应用[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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金则军（北京烁科中科信电子装备有限公司长沙分公司）.用于离子注入机的高压放大器的研制[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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周哲1，付丙磊2，董天波1，芦刚3（中电科电子装备集团有限公司；紫光国芯微电子股份有限公司；中国电子科技集团公司第四十五研究所）.半导体工艺与制造装备技术发展趋势[J].电子工业专用设备,2022,第4期
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林晨，艾博，宗俊吉（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.基于GPIB总线的芯片测试系统开发与应用[J].电子工业专用设备,2022,第4期
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田洪涛，杨旭，田知玲，张金环，陈苏伟（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.超声波清洗液控制系统研究[J].电子工业专用设备,2022,第4期
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杨鹏举，王天聪，靳永吉（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.基于PROFINET控制的金刚线多线切割机硬件系统分析与研究[J].电子工业专用设备,2022,第4期
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韦杰，张文琪，温岩，田芳（中国电子科技集团公司第二研究所）.伺服电缸加压系统的压力控制方法[J].电子工业专用设备,2022,第4期
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宋文超，贾祥晨，李家明，王洪建，刘广杰（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.SiC功率器件制造中的湿法工艺设备研究[J].电子工业专用设备,2022,第4期
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金磊，魏唯，陈龙，陈章隆，范江华，巩小亮（中国电子科技集团公司第四十八研究所）.硅基沟槽功率器件漏电检测及异常分析[J].电子工业专用设备,2022,第4期
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侍二增，崔亮，李云芝，蒋小娟（江苏华海诚科新材料有限公司）.硅微粉对环氧塑封料的影响[J].电子工业专用设备,2022,第4期
-
张继静，刘福强，张金环，田知玲（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.CMP设备修整器防撞机构设计[J].电子工业专用设备,2022,第4期
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冯晓虎（中电科风华信息装备股份有限公司）.全面质量管理在镜片组装机研制中的应用[J].电子工业专用设备,2022,第4期
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张文琪，韦杰，郝耀武（中国电子科技集团公司第二研究所）.基于切比雪夫拟合的倒装焊接机调平[J].电子工业专用设备,2022,第4期
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李文浩，闫旭冬（中国电子科技集团公司第二研究所）.全自动平行缝焊机产生次品的原因分析与改进[J].电子工业专用设备,2022,第4期
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刘洋，左宁（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.微波信号测试过程中的误差校准分析[J].电子工业专用设备,2022,第4期
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李斌，林晨，张博，薛书亮（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.化学抛光设备视觉检测系统设计[J].电子工业专用设备,2022,第4期
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高荣荣，张叶，郑佳晶，付纯鹤（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.线程耗时对程序时序的影响分析[J].电子工业专用设备,2022,第4期
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郑嘉瑞1,2，肖君军1，周宽林2，胡金2（哈尔滨工业大学(深圳)电子与信息工程学院；深圳市联得自动化装备股份有限公司）.引线框架贴膜工艺在QFN封装制程中的应用[J].电子工业专用设备,2022,第4期
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梁达平1，王鸿斌2，赵利民1（天水师范学院电信与电气工程学院；天水华天科技股份有限公司）.一种基于智能控制算法的芯片烘箱PID温度控制器[J].电子工业专用设备,2022,第3期
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崔海龙，乔丽，曹国斌，丁宇心，郝艳鹏（中国电子科技集团公司第二研究所）.基于Z向直线系统动态平衡结构仿真分析[J].电子工业专用设备,2022,第3期
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杨金，巩小亮，何永平（中国电子科技集团公司第四十八研究所）.第三代半导体SiC芯片关键装备现状及发展趋势[J].电子工业专用设备,2022,第3期
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谭立杰，魏祥英，孙敏，闫芸（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.用于位置检测的光电二极管参数分析[J].电子工业专用设备,2022,第3期
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郭东，张文斌，刘国敬，赵祥（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.抛光工艺对晶片表面粗糙度的影响[J].电子工业专用设备,2022,第3期
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刘冬喜，陈宽勇（海拓仪器(江苏)有限公司）.面向电子元器件老化筛选设备的设计[J].电子工业专用设备,2022,第3期
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董同社，靳永吉（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.SiC用多线切割技术与设备的发展现状与趋势[J].电子工业专用设备,2022,第3期
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于静，戴豪（北京烁科精微电子装备有限公司）.空气静压电主轴振动模糊控制技术研究[J].电子工业专用设备,2022,第3期
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郝耀武，郝艳鹏，王元仕，张文琪，狄希远（中国电子科技集团公司第二研究所）.高精度倒装焊机加压机构的研究[J].电子工业专用设备,2022,第3期
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贾月明，高岳，周哲（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.喷雾涂胶机旋转主轴动态特性研究[J].电子工业专用设备,2022,第3期
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李伟，王元仕，郭婷婷（中国电子科技集团公司第二研究所）.多层共烧陶瓷孔壁金属化工艺常见缺陷分析[J].电子工业专用设备,2022,第3期
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魏晖1，吕磊2，熊启龙1（合肥清溢光电有限公司；中国电子科技集团公司第四十五研究所）.光刻掩模版的低温气溶胶清洗探究[J].电子工业专用设备,2022,第3期
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