-
徐俊，申强，孙运玺（中国电子科技集团公司第五十五研究所）.IBE 离子束系统原理及故障解析[J].电子工业专用设备,2023,第5期
-
谢于柳，何远湘，陈庆广（中国电子科技集团公司第四十八研究所）.SiC 外延炉模块化集成制造技术探索与研究[J].电子工业专用设备,2023,第5期
-
杨春颖，常耀辉，陈亚楠（中国电子科技集团公司第四十六研究所）.铌酸锂晶片的抛光机理及损伤层控制研究[J].电子工业专用设备,2023,第5期
-
黄翔宇，纪宝林，马协力（中电国基南方集团有限公司）.高集成度复杂光刻版版图的快速巡查与修正技术[J].电子工业专用设备,2023,第5期
-
王学军，闫晨阳（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.基于AD4130 的高精度温度采集系统设计[J].电子工业专用设备,2023,第5期
-
赵玉民1，赵祥1，陈钊1，朱林2（中国电子科技集团公司第四十五研究所；北京工业大学材料与制造学部）.晶圆减薄设备空气静压径向轴承静态性能研究[J].电子工业专用设备,2023,第5期
-
颜秀文1,2，孙勇1，彭立波1,3，刘圣1，阳王东2，唐卓2（中国电子科技集团公司第四十八研究所；湖南大学信息科学与工程学院；北京烁科中科信电子装备有限公司长沙分公司）.基于Opera-3D软件的碳化硅离子注入机光路设计与仿真[J].电子工业专用设备,2023,第4期
-
于丽君，马秀，贾新瑞，赵宇飞，符壮（山西中电科新能源技术有限公司）.基于数字化技术的碳基材料制造系统研究[J].电子工业专用设备,2023,第4期
-
李俊（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.纳米压印光刻工艺及其制造设备[J].电子工业专用设备,2023,第4期
-
谢于柳，何远湘，赵 ，刘洪文，黄升，任哲（中国电子科技集团公司第四十八研究所）.半导体装备工程化批产脉动生产线技术应用与研究[J].电子工业专用设备,2023,第4期
-
龚欣，陈峰武，吕文利，陈丹旻，周亮，龚肖（湖南烁科晶磊半导体科技有限公司）.高性能分子束外延用束源炉的研制[J].电子工业专用设备,2023,第4期
-
赵松，汪宗华，何成国，杨韬，曹玉堂（文一三佳科技股份有限公司）.半导体塑封压机的自动化工艺技术应用[J].电子工业专用设备,2023,第4期
-
吴洪坤（中电科风华信息装备股份有限公司）.集成产品开发管理在智能制造装备企业中的应用[J].电子工业专用设备,2023,第4期
-
杨韬，汪瑞，汪宗华，宋春雷，赵松，曹玉堂（铜陵富仕三佳机器有限公司）.集成电路封装设备翻转机构原理及控制方法[J].电子工业专用设备,2023,第4期
-
陈磊，仉振，张鹏（中电科风华信息装备股份有限公司）.直线模组运动精度补偿在预键合中的应用[J].电子工业专用设备,2023,第4期
-
王英杰（北京中电科电子装备有限公司）.晶圆划片机气浮主轴的常见问题及其处理方法[J].电子工业专用设备,2023,第4期
-
杨博，郝晓亮，赵英伟（中国电子科技集团公司第十三研究所）.等离子去胶机的结构原理与维护调试和故障分析[J].电子工业专用设备,2023,第4期
-
李莉，丁雨阳，王子琳，寇宁宁，陈义珍，高飞（中国原子能科学研究院中核核工业计量与测试技术重点实验室）.便携式γ射线照射装置质量特性设计与测试（续）[J].电子工业专用设备,2023,第4期
-
李龙飞，赵宏宇，关宏武，李树彦（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.支撑机构对工作台振动传递率的影响[J].电子工业专用设备,2023,第4期
-
李红钢，陈曦，王俊杰，贾闯，卢孟（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.基于三阶速度和四阶位移的轨迹规划方法研究（续）[J].电子工业专用设备,2023,第4期
-
刘洪涛，王丽春，王晋强（中国电子科技集团公司第二研究所）.基于遗传算法的降低仓储系统运行噪声方案优化[J].电子工业专用设备,2023,第4期
-
张春胜，葛荣祥，钱志成，申强（中国电子科技集团公司第五十五研究所）.端部离子源提升SiC器件金属膜层结合牢固度的研究[J].电子工业专用设备,2023,第4期
-
于丽君，马秀，赵宇飞，符壮（山西中电科新能源技术有限公司）.基于设备OEE的碳沉积设备技术提升研究[J].电子工业专用设备,2023,第3期
-
李国林，邓珏琼，朱亚红（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.卷材传输张力控制结构的研究与应用[J].电子工业专用设备,2023,第3期
-
段杨杨，谭伟，李兰侠，刘红杰，范丹丹，刘玲玲，崔亮，蒋小娟（江苏华海诚科新材料股份有限公司）.高导热环氧模塑料的制备[J].电子工业专用设备,2023,第3期
-
庞克俭（中国电子科技集团公司第十三研究所）.点胶机运动误差的测量与补偿方法[J].电子工业专用设备,2023,第3期
-
张志耀，牛奔（中国电子科技集团公司第二研究所）.SiC激光改质剥离工艺材料损耗控制技术[J].电子工业专用设备,2023,第3期
-
张英英（中国电子科技集团公司第二研究所）.低温共烧陶瓷填孔工艺的改良措施[J].电子工业专用设备,2023,第3期
-
张金利1，张品2（中国电子科技集团公司第十三研究所；湖北工业大学）.3D线激光检测封装陶瓷平面度研究[J].电子工业专用设备,2023,第3期
-
李莉，丁雨阳，王子琳，寇宁宁，陈义珍，高飞（中国原子能科学研究院中核核工业计量与测试技术重点实验室）.便携式γ射线照射装置质量特性设计与测试[J].电子工业专用设备,2023,第3期
|