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罗晋（上海微电子装备(集团)股份有限公司）.一种精密流场维持系统的设计与应用[J].电子工业专用设备,2021,第3期
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杨旭，杨元元，王嘉琪，贾若雨（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.CMP干燥模组控制软件设计[J].电子工业专用设备,2021,第3期
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霍灼琴，马海亮，张永聪（中国电子科技集团公司第二研究所）.真空共晶炉的改进与提升[J].电子工业专用设备,2021,第3期
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解晗，夏久龙，申强（中国电子科技集团公司第五十五研究所）.BAK蒸发台金属薄膜分层台阶现象探究[J].电子工业专用设备,2021,第3期
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（中国电子专用设备工业协会）.2016年-2020年各类半导体设备销售收入[J].电子工业专用设备,2021,第3期
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田芳1，刘培2，闫冬1，张彩云1，孙宇彤3（中国电子科技集团公司第二研究所；中北大学；山西大数据产业发展有限公司）.远程运维技术在共烧陶瓷基板制造设备中的应用[J].电子工业专用设备,2021,第2期
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常亮，孙彬，徐品烈，赵玉民，张彩山（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.金丝引线键合失效的主要因素分析[J].电子工业专用设备,2021,第2期
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Sze Pei Lim，Kenneth Thum，Andy Mackie，David Hu（铟泰公司）.系统级封装(SiP)组装技术与锡膏特性[J].电子工业专用设备,2021,第2期
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杨生荣，王克江，白阳，孙彬（北京中电科电子装备有限公司）.基于模糊PID 控制的晶圆精密磨削控制系统[J].电子工业专用设备,2021,第2期
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吕磊，胡晓霞，郑如意（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.晶圆级微波测试工艺研究[J].电子工业专用设备,2021,第2期
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龙长林，周立平，陈国钦，龚欣，龚俊，巴赛（中国电子科技集团公司第四十八研究所）.基于双频电源的PECVD 沉积设备设计与仿真[J].电子工业专用设备,2021,第2期
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彭宜昌，吴易龙，徐伟，张威，陈特超（湖南红太阳光电科技有限公司）.线形同轴耦合微波等离子体系统仿真研究[J].电子工业专用设备,2021,第2期
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孙勇1，钟新华2，杨亚兵2（中国电子科技集团公司第四十八研究所；北京烁科中科信电子装备有限公司）.离子注入机分析器模型的自动调束控制方法[J].电子工业专用设备,2021,第2期
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张蕾（中国电子科技集团公司第二研究所）.面向IIOT 的数字化车间数据通信研究及应用[J].电子工业专用设备,2021,第2期
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王慧（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.高压力微孔填充工艺技术研究[J].电子工业专用设备,2021,第2期
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郝鹏飞，吕麒鹏，王殿（中国电子科技集团公司第二研究所）.新型HDI 盲孔填孔电镀铜技术[J].电子工业专用设备,2021,第2期
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解晗，张春胜，申强（中国电子科技集团公司第五十五研究所）.磁控溅射台镀膜形貌及均匀性改善研究[J].电子工业专用设备,2021,第2期
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魏宇祥，王殿（中国电子科技集团公司第二研究所）.化学镀镍铁氟龙设备的设计要点研究[J].电子工业专用设备,2021,第2期
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杨元元，杨旭，史霄，孟晓云，杨师（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.CMP 在线光学终点检测算法研究及应用[J].电子工业专用设备,2021,第2期
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高丹（中国电子科技集团公司第四十六研究所）.一种MEMS 用硅单晶的缺陷检验方法[J].电子工业专用设备,2021,第2期
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陈龙豪，朱从健（苏州汇科机电设备有限公司）.内部螺旋线型管式热交换器在工业窑炉上的应用[J].电子工业专用设备,2021,第2期
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史霄，杨师，杨元元，费玖海（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.半导体制造设备排气通风设计及仿真[J].电子工业专用设备,2021,第1期
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贾月明，刘路宽，高岳（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.低温探针台液氮管路保冷设计与应力分析[J].电子工业专用设备,2021,第1期
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张文斌，郭东，葛劢翀（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.碲锌镉晶片双面磨抛加工表面损伤层研究[J].电子工业专用设备,2021,第1期
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郑娟莉（通富微电子股份有限公司）.IC 封装TO 系列产品框架变形研究[J].电子工业专用设备,2021,第1期
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