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常郅坤1,2,3,4,5,张婉怡1,2,3,4,5,沈箫雨1,2,3,4,5,牟群1,2,3,4,5,韩晓玲6,宋松7,牛鹏飞8,邓晓1,2,3,4,5,程鑫彬1,2,3,4,5(同济大学精密光学工程技术研究所;先进微结构材料教育部重点实验室;上海市数字光学前沿科学研究基地;上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台;同济大学物理科学与工程学院;苏州大学物理科学与技术学院;浙江水利水电学院基础教学部;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室).自溯源型MOEMS加速度计谐振子设计仿真研究[J].计量科学与技术,2023,第6期
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