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薛飞^1,2，袁仕芳²，胡亮¹，苏芮¹，付新¹（浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室；浙江启尔机电技术有限公司）.波纹管泵与阻尼器耦合作用动力学分析与降脉动设计[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期韩笑¹，鲍军其¹，张新¹，刘治震¹，周传平^1,2（杭州长川科技股份有限公司；电子科技大学机械与电气工程学院）.晶圆探针台结构振动模态分析研究[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期张肄冕^1,2，徐方^1,2，赵雪³，杜振军^1,2，孙若怀¹，张泽锋²（沈阳新松机器人自动化股份有限公司；中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室；美国班尼迪克大学DanielL.Goodwin商学院）.基于真空机械手运动控制与最优轨迹规划算法研究[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期赵轶¹，韩笑¹，刘震治¹，陈正大¹，周卫华^1,2（杭州长川科技股份有限公司；台州职业技术学院）.基于压力自适应控制的IC分选设备的设计与实现[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期王同庆^1,2，赵德文^1,2，路新春^1,2（清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室；华海清科股份有限公司）.集成电路抛光与减薄装备及耗材的应用和发展[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期刘赟^1,2，薛忠营^1,2，魏星^1,2,3，李炜^3,4（信息功能材料国家重点实验室，中国科学院上海微系统与信息技术研究所；中国科学院大学；上海新昇半导体科技有限公司；上海硅产业集团股份有限公司）.直拉单晶硅晶体缺陷研究进展[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期许志贤，姚继军，胡建坤，夏晓峰，卢水淼，梅华灯，李伟东（杭州谱育科技发展有限公司）.半导体工业原材料分析检测技术现状与进展[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期张莹（北京市科学技术研究院信息与人工智能技术研究所；《微纳电子与智能制造》编辑部）.12英寸CMOS成套工艺公共研发平台建成,助力高校研究所成果实现产业化——访中国工程院院士,浙江大学微电子学院（微纳电子学院）吴汉明[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期伍强，李艳丽，刘显和（复旦大学微电子学院）.现代光刻机的发展历程与未来展望[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期蒋征^1,2，张亚梅¹，李培培¹，叶五毛¹，丁士进²（拓荆科技股份有限公司；复旦大学微电子学院）.非晶碳薄膜在芯片制程中作为硬掩模应用的特性研究[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期程志渊（浙江大学微电子学院(微纳电子学院)）.客座主编寄语[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期韦刚^1,2，成晓阳¹，刘建¹，刘卓远¹，王娜¹，赵晋荣¹（北京北方华创微电子装备有限公司；清华大学工程物理系）.集成电路刻蚀装备及其核心部件的发展历程[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期刘赟^1,2，薛忠营^1,2，魏星^1,2,3，李炜^3,4（中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室；中国科学院大学；上海新昇半导体科技有限公司；上海硅产业集团股份有限公司）.300 mm硅片技术发展趋势探讨[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期周洁鹏，封拥军，元洁，陈浩，金小亮，宋维聪（上海陛通半导体能源科技股份有限公司化学气相沉积事业部）.往复式旋转对化学气相沉积薄膜性能的提升与应用[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期刘颖，施旖旎，赵银凤，张英达（大连科利德光电子材料有限公司）.高纯三氯化硼中杂质检测技术[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期刘耀鹏（晶瑞电子材料股份有限公司）.半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的制备与检测[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期张兴（《微纳电子与智能制造》）.主编寄语[J].微纳电子与智能制造,2022,第1期首页上一页 1 2 3 尾页共有3页，转到页

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