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曹彦鹏1,2，赵博闻1,2，沈凝1,2，杨将新1,2，陈剑1,3，居冰峰1（浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室；浙江大学浙江省先进制造技术重点研究实验室；浙江省智能运维机器人重点实验室）.基于二维振镜的动态目标实时跟踪与高保真信息采集系统[J].计测技术,2023,第1期
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张金旭，陈家扬，吴冠豪（清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室）.基于光谱干涉椭偏法的薄膜厚度测量[J].计测技术,2023,第1期
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黄向东1,2，孙壮1,2，段剑秋1,2，王伟波1,2（哈尔滨工业大学仪器科学与工程学院超精密光电仪器工程研究所；哈尔滨工业大学超精密仪器及智能化工信部重点实验室）.共焦三维超精密测量技术研究进展[J].计测技术,2023,第1期
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祝源浩，董佳琦，宋有建，胡明列（天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术教育部重点实验室）.多层微纳薄膜的高精度检测技术进展[J].计测技术,2023,第1期
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刘林，刘兆武，于宏柱，王玮，姜岩秀，姜珊，孙宇佳，金思宇，梁旭，巴音贺希格，李文昊（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所）.大量程高性能光栅位移测量技术[J].计测技术,2023,第1期
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夏承晟，邓惠文，赵书浩，陶伟灏，张国锋，杨树明（西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室）.芯片表面形貌检测方法及系统研制[J].计测技术,2023,第1期
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吴昂1,2，卢荣胜1（合肥工业大学仪器科学与光电工程学院；河南农业大学机电工程学院）.叠焦三维显微视觉测量聚焦评价算法研究[J].计测技术,2023,第1期
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李强，任冬梅，朱振宇，李华丰，王霁，段小艳（航空工业北京长城计量测试技术研究所计量与校准技术重点实验室）.激光干涉仪在纳米测量中的典型应用[J].计测技术,2023,第1期
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蒋俊海1,2，孙伟强1，王振1，韩春营1，孟庆浪1，俞宗强1（东方晶源微电子科技北京有限公司；复旦大学微电子学院）.用于集成电路制造中良率监控的国产化电子束缺陷检测设备[J].计测技术,2023,第1期
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叶卓杭，柴常春，刘晓军（华中科技大学机械科学与工程学院数字制造装备与技术国家重点实验室）.结构光照明层析多样性表面形貌测量[J].计测技术,2023,第1期
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唐燕1，韩陈浩磊1,2，冯金花1，全海洋1，王建1，胡松1（中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室；中国科学院大学）.双差动快速结构光显微测量方法和系统[J].计测技术,2023,第1期
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霍霄，高志山，袁群，郭珍艳，朱丹（南京理工大学电子工程与光电技术学院）.微结构三维形貌无损检测的双波段显微干涉技术[J].计测技术,2023,第1期
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刘汉戈1，闫钰锋1，唐卫2，韩佳昊1，潘国涛1（长春理工大学光电工程学院；中国白城兵器试验中心）.基于色散共焦原理的内径测量技术研究[J].计测技术,2023,第1期
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周维虎（中国科学院微电子研究所；中国科学院大学）.光学微纳检测技术专辑[J].计测技术,2023,第1期
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袁琳，郭彤，郭心远，祝敏豪，万一夫（天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室）.表面微/纳米计量中的光学测量方法综述[J].计测技术,2023,第1期
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石俊凯1，李冠楠1，霍树春1，姜行健1，陈晓梅1，周维虎1,2（中国科学院微电子研究所；中国科学院大学）.过焦扫描光学显微测量技术综述[J].计测技术,2023,第1期
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