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薛宏伟^1,2，袁肇耿^1,2，吴会旺^1,2，杨龙^1,2（河北普兴电子科技股份有限公司；河北省新型半导体材料重点实验室）.高质量6英寸 4H-SiC同质外延层快速生长[J].微纳电子技术,2021,第5期刘磊^1,2，王帆²，喻磊²，周魁²，许磊¹（中国科学技术大学信息科学技术学院；华东光电集成器件研究所）.Ti基吸气剂制备及其在MEMS晶圆级真空封装中的应用[J].微纳电子技术,2021,第5期王卓然，王晓雨，王博，王艳芳，侯中宇（上海交通大学电子信息与电气工程学院）.微型色谱柱制备及其GC谱线分离性能的优化[J].微纳电子技术,2021,第5期董燕茹，孔国龙，张渝，马磊，魏良明（上海交通大学电子信息与电气工程学院）.微米硅-石墨-碳负极的制备及在锂离子电池中的应用[J].微纳电子技术,2021,第5期张艺，端木庆铎（长春理工大学理学院）.MACE法制备多孔硅的形貌及光致发光性能[J].微纳电子技术,2021,第5期李志东，汪蔚，杨拥军，周嘉，翟晓飞（中国电子科技集团公司第十三研究所）.X波段MEMS环行隔离滤波芯片[J].微纳电子技术,2021,第5期徐世海，边子夫，高飞，张丽，程红娟，王健，李晖（中国电子科技集团公司第四十六研究所）.清洗工艺对AlN单晶抛光片表面有机沾污的影响[J].微纳电子技术,2021,第5期夏童¹，李刚^1,2，徐世伟¹，赵洋¹，胡南滔¹（上海交通大学电子信息与电气工程学院薄膜与微细技术教育部重点实验室；上海交通大学物理与天文学院人工结构与量子控制重点实验室）.磷酸铁锂/小尺寸石墨烯复合锂离子电池阴极材料的制备及储能特性[J].微纳电子技术,2021,第5期单存良^1,2，梁庭^1,2，王文涛^1,2，雷程^1,2，薛胜方^1,2，刘瑞芳^1,2，李志强^1,2（中北大学仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室；中北大学仪器与电子学院动态测试技术山西省重点实验室）.基于SOI的MEMS高温压阻式压力传感器[J].微纳电子技术,2021,第4期董璇¹，王保志²，张成功¹，王欢¹，李以贵¹（上海应用技术大学理学院；上海应用技术大学电气与电子工程学院）.MEMS压电能量采集器的研究进展[J].微纳电子技术,2021,第4期孙永娇，周蕊，杨浩月，胡杰（太原理工大学信息与计算机学院纳米能源与器件实验室）.氧化钨和钯修饰氧化钨纳米材料的制备及其选择性气敏特性[J].微纳电子技术,2021,第4期叶凌霄^1,2，娄宗勇³，黎霞^1,2，王志华^1,2（河北工业大学电气工程学院省部共建电工装备可靠性与智能化国家重点实验室；河北工业大学电气工程学院河北省电磁场与电器可靠性重点实验室；承德石油高等专科学校）.基于液体摆的双轴电容式倾角传感器[J].微纳电子技术,2021,第4期王锦曦¹，闫树斌^2,3，苏浩¹，杨啸宇¹，罗云霞³，郭京³，华尔天³（中北大学仪器与电子学院；中北大学电气与控制工程学院；浙江水利水电学院电气工程学院）.芯片级铯原子钟MEMS气室的气密性封装[J].微纳电子技术,2021,第4期王广建，陈征，周桃（上海电力大学数理学院）.NiMoO₄-CoMoO₄纳米复合材料的制备及其电化学性能[J].微纳电子技术,2021,第4期张之昊，李浩然，张思琦，刘军山（大连理工大学机械工程学院辽宁省微纳米技术及系统重点实验室）.基于硅模具制作的纳米裂纹及应变传感器[J].微纳电子技术,2021,第4期严晨欢，曲艺鸿，童新，王哲，徐少辉，熊大元，王连卫（华东师范大学物理与电子科学学院）.硝酸改性石墨毡制作超级电容器的复合电极[J].微纳电子技术,2021,第4期戴金莹¹，尹加文¹，郜晚蕾¹，金庆辉^1,2（宁波大学信息科学与工程学院；中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室）.重金属检测微纳传感器芯片批量制备与测试[J].微纳电子技术,2021,第4期杨勇，周可心，胡南滔，张亚非（上海交通大学电子信息与电气工程学院薄膜与微细技术教育部重点实验室）.硫掺杂激光诱导石墨烯的制备及抗菌性能[J].微纳电子技术,2021,第4期张宁，何剑，丑修建（中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室）.PDMS基摩擦纳米发电机膜内掺杂[J].微纳电子技术,2021,第4期钟明浩，郭钟宁，刘宇迅（广东工业大学机电工程学院）.基于微流控技术的液滴微颗粒分选[J].微纳电子技术,2021,第4期徐衡¹，陈旭¹，罗登俊²，颜炎洪¹，李守委¹，徐罕³（中国电子科技集团公司第五十八研究所；苏州优诺电子材料科技有限公司；无锡中微高科电子有限公司）.SnBi基焊点在热作用下的可靠性和失效分析[J].微纳电子技术,2021,第4期张建，张鹏，陈昱丞，李玉霞，黄梁松（山东科技大学电气与自动化工程学院）.基于纸基电极的柔性电容式压力传感器[J].微纳电子技术,2021,第3期首页上一页 3 4 5 6 7 下一页尾页共有7页，转到页

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