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任俊锋1,王海兵1,曹海静1,李慧玉1,朱燕艳1,方泽波2(上海电力大学数理学院;绍兴文理学院数理信息学院).碳掺杂MnSn(OH)6纳米立方电极材料的制备及其在超级电容器中的电化学性能[J].微纳电子技术,2022,第4期
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刘波1,2,3,舒霞云1,2,3,常雪峰2,4,王策1,2,3,周智1,2,3(厦门理工学院机械与汽车工程学院;厦门理工学院精密驱动与传动福建省高等学校重点实验室;厦门市智能制造高端装备研究重点实验室;集美大学海洋装备与机械工程学院).双层鞘气聚焦对气溶胶喷印粉末汇聚特性的影响[J].微纳电子技术,2022,第4期
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张雪1,周建伟2,王辰伟2(黑龙江八一农垦大学信息与电气工程学院;河北工业大学电子信息工程学院).TTA-K与pH值对Ru阻挡层Cu互连图形片CMP的影响[J].微纳电子技术,2022,第4期
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涂云婷1,2,崔峰1,赵韦良1,2(微米/纳米加工技术国家级重点实验室;上海交通大学电子信息与电气工程学院).双加热电阻柔性MEMS流速传感器的测控电路[J].微纳电子技术,2022,第4期
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周可心,苗泽萌,杨勇,黄小露,张耀中,李新红,张亚非(上海交通大学电子信息与电气工程学院薄膜与微细技术教育部重点实验室).石墨烯的氧化与抗菌特性[J].微纳电子技术,2022,第4期
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陈沁文,张斌珍,段俊萍,邓浩,武鑫磊(中北大学仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室).一种超宽带柔性梯形环分形天线的设计[J].微纳电子技术,2022,第4期
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付天宇1,童新1,熊大元1,2,徐少辉1,王连卫1(华东师范大学物理与电子科学学院极化材料与器件教育部重点实验室;华东师范大学物理与电子科学学院上海市多维度信息处理重点实验室).锌基准固态电池磷化钴镍电极的制备与性能[J].微纳电子技术,2022,第4期
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曹璟,徐丽,李丽花(上海电力大学数理学院).CaMoO4纳米颗粒的合成、表征及电化学性能[J].微纳电子技术,2022,第4期
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赵正平(中国电子科技集团公司).FinFET/GAAFET纳电子学与人工智能芯片的新进展(续)[J].微纳电子技术,2022,第4期
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田苗1,周欣2,陈舒静1,张笛1,瞿敏妮1,毛海平1,乌李瑛1(上海交通大学电子信息与电气工程学院先进电子材料与器件平台;迪思科科技(中国)有限公司).Cu/SU-8复合结构的高精度机械研磨[J].微纳电子技术,2022,第4期
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任臣,杨拥军,陈鹏旭(中国电子科技集团公司第十三研究所).跷跷板式MEMS加速度计锚点与梁优化设计[J].微纳电子技术,2022,第4期
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陈广州,陈刚,潘莉,白智健,陈东生(上海电力大学数理学院).基于PVDF/GO纳米复合薄膜的柔性压电传感器[J].微纳电子技术,2022,第3期
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张道远1,2,林树靖1,2,王菲1,2,王砚璞1,2,陈迪1,2(薄膜与微细技术教育部重点实验室;上海交通大学电子信息与电气工程学院).用于高集成度数字PCR平台的微流控芯片[J].微纳电子技术,2022,第3期
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权雪玲,刘民,付学成,黄胜利,凌天宇,瞿敏妮,程秀兰(上海交通大学电子信息与电气工程学院先进电子材料与器件平台).用于制备微纳米玻璃结构的加工工艺[J].微纳电子技术,2022,第3期
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马铭辰,王国政,王蓟(长春理工大学物理学院).前驱体通气时间对原子层沉积氧化锌薄膜的影响[J].微纳电子技术,2022,第3期
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黄旭东1,张井合2,胡凯凯1,蒋晨星1,王振宇1,郜晚蕾1,金庆辉1,3(宁波大学信息科学与工程学院;北航金华北斗应用研究院;中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室).集成Ti/TiO2敏感电极和液接式Ag/AgCl参比电极的pH微纳传感器[J].微纳电子技术,2022,第3期
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潘苏敏,黄玲琴,陶化文(江苏师范大学电气工程及自动化学院).基于FET结构的MoS2器件的研究进展[J].微纳电子技术,2022,第3期
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王晓彧1,2,韩运成3,张佳辰3,冯加明2,熊厚华1,2,陈志远1,2,李月生2,李桃生3(湖北科技学院核技术与化学生物学院;辐射化学与功能材料湖北省重点实验室;中国科学院合肥物质科学研究院核能安全技术研究所).电极材料对肖特基结β辐射伏特同位素电池性能的影响[J].微纳电子技术,2022,第3期
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何溪1,李晓延1,张伟栋2,张虎1,朱阳阳1(北京工业大学材料与制造学部;中国核工业二三建设有限公司).微电子封装中全Cu3Sn焊点高温服役下的微观组织演变[J].微纳电子技术,2022,第3期
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季喜军1,熊枫2,石树正3,4,王占英3,4(山西工程科技职业大学汽车工程学院;山西工程职业学院建筑与测绘工程系;河北建筑工程学院机械工程学院;张家口市特种设备智慧监测运维技术创新中心).基于摩擦纳米发电机的自驱动自清洁雨量传感器[J].微纳电子技术,2022,第3期
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潘鹏1,季雪梅1,苏江滨1,2,朱贤方2,何祖明1,唐斌1,郎咸忠1(常州大学微电子与控制工程学院电子科学与技术实验中心;厦门大学物理科学与技术学院中国-澳大利亚功能纳米材料联合实验室).聚焦电子束辐照诱导喷金SiOx纳米线新型结构加工[J].微纳电子技术,2022,第3期
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屈小勇,高嘉庆,郭永刚,吴翔,张博,杨爱静,张天杰(青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司).n型IBC太阳电池磷掺杂工艺[J].微纳电子技术,2022,第3期
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赵正平(中国电子科技集团公司).FinFET/GAAFET纳电子学与人工智能芯片的新进展[J].微纳电子技术,2022,第3期
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李安琪,辛斌杰(上海工程技术大学纺织服装学院).柔性石墨烯/碳纳米纤维素/聚偏氟乙烯电加热膜的制备与表征[J].微纳电子技术,2022,第3期
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