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徐好,孙卫华,韩建强,施阁(中国计量大学机电工程学院浙江省智能制造质量大数据溯源与应用重点实验室).氮气体积流量对磁控溅射氮化硅薄膜性能的影响[J].微纳电子技术,2023,第1期
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王强文,郭育华(中国电子科技集团公司第三十八研究所).氮氩体积流量比对AlN薄膜生长取向、晶体质量及沉积速率的影响及机理分析[J].微纳电子技术,2023,第1期
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胡宗达,周红,张坤,张林,赵鑫,李明兴(成都凯天电子股份有限公司).高精度MEMS硅谐振压力传感器闭环控制系统[J].微纳电子技术,2023,第1期
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王亮1,许剑锋2,姚庆1,崔泽岳1,顼建乐1,杨堃2,李朋伟1,李廷鱼1(太原理工大学信息与计算机学院微纳系统研究中心;山西迪奥普科技有限公司).基于Fe3O4/Ti3C2肖特基异质结的构筑及其光催化性能[J].微纳电子技术,2023,第1期
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王振秋,张猛,张佃平(宁夏大学机械工程学院).静电纺丝技术在锂离子电池硅基负极结构的应用进展[J].微纳电子技术,2023,第1期
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王帅1,2,王如1,2,郑晴平1,2,刘彬1,2(河北工业大学电子信息工程学院;天津市电子材料与器件重点实验室).TSV铜抛光液的研究进展[J].微纳电子技术,2023,第1期
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吕丽,朱兵,苗益川,岳天亮,陈杰(贵州大学电气工程学院).水凝胶基摩擦纳米发电机的研究进展[J].微纳电子技术,2023,第1期
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朱越超1,卢芳芳2,王海荣2,张煜昊1,於佳琦1,李珂璠1,李翠翠1,3(浙江海洋大学石油化工与环境学院;舟山市质量技术监督检测研究院;临港石油天然气储运技术国家地方联合工程实验室).快速合成型Bi@CuNS催化剂用于CO2电化学还原制备乙烯[J].微纳电子技术,2023,第1期
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纪树泰,郑杰,刘逸松,崔建国(重庆理工大学药学与生物工程学院).基于共面斜叉指状电极的微流控芯片内液滴检测技术[J].微纳电子技术,2023,第1期
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孙嘉肖,宋海军,孙权,汤成莉,张礼兵(嘉兴学院信息科学与工程学院).PEDOT/Te纳米复合纤维的制备与热电性能[J].微纳电子技术,2023,第1期
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谭心,潘超,贺占清,祁晖,杨桥(内蒙古科技大学机械工程学院).金刚石纳米锥坑阵列结构的制备[J].微纳电子技术,2023,第1期
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黄然1,2,程洋1,2,刘馨悦1,2,徐日泰1,2,俞建峰1,2,钱陈豪1,2(江南大学机械工程学院;江南大学江苏省食品先进制造装备技术重点实验室).基于EHD的射流稳定性机理分析与实验研究[J].微纳电子技术,2023,第1期
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王宁1,杨拥军1,任臣1,温彦志2(中国电子科技集团公司第十三研究所;河北美泰电子科技有限公司).一种振动测量用电容式硅基MEMS加速度计[J].微纳电子技术,2023,第1期
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贾玙璠1,2,朱祥龙1,2,董志刚1,2,康仁科1,2,杨垒1,2,高尚1,2(大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室;大连理工大学机械工程与材料能源学部).石英晶片化学机械抛光工艺优化[J].微纳电子技术,2023,第1期
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祁飞,李志东,汪蔚(中国电子科技集团公司第十三研究所).全屏蔽硅基腔体MEMS双工器[J].微纳电子技术,2023,第1期
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高艳飞1,李博2,刘洪东1,宋标1,董忠吉1,屈小勇3,高嘉庆3(青海黄河上游水电开发有限责任公司西宁太阳能电力分公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司;国家电力投资集团有限公司).不同薄膜对n型IBC太阳电池性能的影响[J].微纳电子技术,2023,第1期
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