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王露寒，吴海，赵英伟，程壹涛（中国电子科技集团公司第十三研究所）.基于FTA的清洗机常见故障分析与维修[J].电子工业专用设备,2022,第6期
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魏晖，熊启龙，龚清华，李伟，蔡舫（合肥清溢光电有限公司）.光刻胶涂胶厚度均匀性影响因素探究[J].电子工业专用设备,2022,第6期
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赵东雷，关宏武，王浩楠，郎平，刘颖（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.基于激光追踪仪的运动轴性能测试与分析[J].电子工业专用设备,2022,第6期
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于静，戴豪（北京烁科精微电子装备有限公司）.基于模糊PID控制的电气设备温度控制系统设计与实现[J].电子工业专用设备,2022,第6期
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胡晓霞1，李猛1，方敏晰2，温建军1（中国电子科技集团公司第四十五研究所；三河建华高科有限责任公司）.探针台“四芯”测试算法应用研究[J].电子工业专用设备,2022,第6期
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谢礼飞1,2，段红松1,2，何易鹏2，肖路2（湖南烁科热工智能装备有限公司；中国电子科技集团公司第四十八研究所）.基于机器视觉的匣钵缺陷检测系统[J].电子工业专用设备,2022,第6期
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乔文远，魏红飞，杨子元（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.EtherCAT总线在自动印刷机中的应用[J].电子工业专用设备,2022,第6期
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李星辰，武震，高爱梅，申淙，张乾（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.成像物镜集成公差分配与定心装调技术研究[J].电子工业专用设备,2022,第6期
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闫文娥，高峰（中国电子科技集团公司第二研究所）.生瓷坯体热切工艺研究[J].电子工业专用设备,2022,第6期
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张永聪，霍灼琴，张良辰，靳宇婷，郝艳鹏，马生生，赵喜清（中国电子科技集团公司第二研究所）.金丝球焊球径控制工艺分析[J].电子工业专用设备,2022,第6期
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赵立华，李博，丁彦杰，步石，陈国兴（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.半物理仿真系统及模型的试验分析[J].电子工业专用设备,2022,第6期
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毛朝斌，高桑田，盛飞龙，仇礼钦，王鑫（季华实验室）.高温外延炉气体压力控制系统的实现[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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李斌1，胡晓霞1,2，吕磊1,2，王进瑞2（中国电子科技集团公司第四十五研究所；三河建华高科有限责任公司）.基于数字孪生技术的晶圆级测试平台[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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郝靖，张振敏，李鹏飞，王英杰（北京中电科电子装备有限公司）.砂轮划片机非接触式测高准确度的分析研究[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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唐金鑫1，杜亮2，李培源1，陈波1，李超波1（中国科学院微电子研究所；中芯国际集成电路制造(北京)有限公司）.基于氟塑料的超洁净气动液体隔膜阀结构设计与制备[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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Michael Hargrove.量子计算机和CMOS半导体的发展回顾与未来预测[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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任耀华（中国电子科技集团公司第二研究所）.N型超高效太阳能单晶硅片智能车间建设与应用[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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康洪亮（中国电子科技集团公司第四十六研究所）.Ga As多线切割切片翘曲度的有限元分析[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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高爱梅，宫晨，张乾，黄晓鹏（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.曝光剂量精度误差分析研究[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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田原（中国电子科技集团公司第四十六研究所）.硅单晶测试参数的差异分析[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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魏红军，谢振民，雷光宇（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.高深宽比的TSV镀铜工艺技术研究[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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李龙飞，李树彦，侯得锋，杨师，梅阳（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.半导体设备承载板的模态分析及拓扑优化[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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Kevin Moraes.应对传统摩尔定律微缩挑战需要芯片布线和集成的新方法[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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种宝春，徐品烈，张文斌（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.碲锌镉晶片精密抛光效果的影响因素分析[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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孙敏，符瑶，谭立杰（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.基于EtherCAT现场总线的物料传输控制系统[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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刘颖，关宏武，王浩楠（中国电子科技集团公司第四十五研究所）.转轴机构的偏摆测量方法研究[J].电子工业专用设备,2022,第5期
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